在整套反腐败体制中，监察制度自有其特殊的分量。从监督行政，审查官员，稽核文档簿账，到纠察违法，验看实情，平反冤狱，各种方式的监察总是首当其冲地处于发现和处理问题的第一线。因此，就反腐倡廉的制度保障而言，如果说人事制度是治本的重点，那么监察制度就是治标的关键，两者相辅相成，缺一不可。在总结南北朝有关经验教训的基础上，隋唐监察制度的最大特点，表现为其体系的完整和严密，即包括专职监察机构和官员在内，多种形式的监察互相补充和配合，前所未有地织成了一张笼罩和渗透到各种行政过程的庞大网络。
第一节日常行政监督
日常行政监督是上级对下级的监督，这是行政过程得以正常展开的前提。与专门监察机构或官员的职能相比，监督下级虽不是上级机构和官员的全部职责，但其直接与各种政务处理过程重合，也就要较其他方式的监察或监督更为经常和普遍，从而构成了整套监察体系中最为基本的部分。
《唐律疏议》卷二十四《斗讼篇》监临知犯法条：“诸监临主司知所部有犯法，不举劾者，减罪人罪三等，纠弹之官，减二等。”是为长官见知下属违法而不纠者有罪。
隋文帝所定刑法宽于前代，专职监察建制亦无大的发展，其所以能重整南北朝时期弛坏的纲纪，压住长期以来越演越烈的贪贿之风，主要是靠大大强化了的日常行政监督，发现了问题则不惜越法严治。《隋书》卷七十三《循吏传》序述其“专任法令，严察临下。吏存苟免，罕闻宽惠”，概括的就是当时自上而下骤然收紧了的行政监督之态。《隋书》卷七十《杨玄感传》：“初拜郢州刺史，到官，潜布耳目，察长吏能不。其有善政及赃污者，纤介必知之，往往发其事，莫敢欺隐。吏民敬服，皆称其能。”这也就是隋文帝抑制腐败的基本手段。事实上，唐太宗虽经常看不起隋文帝之所为，但其强化行政监督，特别是实际惩处犯罪和量刑时重罚出而轻罚入，宁失入而不失出的用意，《唐会要》卷三十九《议刑轻重》载贞观十一年太宗“问大理寺卿刘德威曰：‘近来刑网稍密，何也？’对曰：‘诚在君上，不由臣下。主好宽则宽，好急则急，律文失入减三等，失出减五等。今则反是，失入则无辜，失出则获大罪，所以吏各自爱，竞执深文。畏罪之所致耳。’太宗然其言，由是失于出入者，各依律文”。也还是与隋文帝一脉相承的。这是因为日常行政监督最为广泛而直接，非全面加严其态就无法扭转隋末以来纪律松弛和贪风趋炽的局面。
但要加强行政上级对下级的监督，最重要的仍是制度建设，否则虽可管用一时一事，但终必紊乱政体而弊端丛生。在这方面，隋初以来全面加强专制集权体制，“大小之官，悉由吏部，纤介之迹，皆属考功”《隋书》卷七十五《刘炫传》。，人事大权统一收归朝廷甚至由皇帝直接掌握，凡纳入流内外序列的下属官吏，长官已无任免黜陟之权，其对属下的控制被大为削弱。经此变化后，与南北朝相比，隋唐时期各级行政长官对属下的控制权，比较有力一点的，只剩下了对其罪失的刑事杖笞权。《北齐书》卷四十六《苏琼传》载其文襄时为南清河太守，其治尤异，“至于调役，事必先办，郡县长吏常无十杖稽失”。是知其时已有公事“十杖稽失”之制。但即使是这项权力，也因为当时律文皆有官员赎刑之条而须大打折扣。《魏书》卷十九中《任城王云传》附《元澄传》载其肃宗初为尚书令多所匡益，“请取诸职人及司州郡县犯十杖已上百鞭已下收赎之物，绢一匹，输砖二百，以渐修造”。至于当时岁终考核时实行的累杖为负、计负为殿、据殿降等之法，其制亦自北朝承袭而来，且其力度不大，实非长官控制属下的有力杠杆。因而隋唐时期行政监督面临的一个历史性问题，是在各级长官的权力降至历史最低点的前提下，如何有效地控制其下级的行政过程。
这个问题大体是通过两个办法得到解决的：一是全面规范和强化各机构佐贰官的职能，既增加其对于长官权力的牵制，更赋予其裁断和节制本机构下属部门和官员行政过程的实权。我们知道，秦汉以来各行政机构的佐贰官，如公府的长史、诸卿和各地郡、县的丞官，其级别与长官相去悬殊，从事的往往是与下属类似的具体事务，其在本机构的实际地位和权力，经常不如长官自署的重要僚属，不仅无法牵制长官，也很难对下属的行政过程有切实的节制或监督作用。参见严耕望《中国地方行政制度史·秦汉地方行政制度》第二章《郡府组织》（二）《郡国佐官——丞、长史》，其述郡府组织处处与公府对照，故其述佐官并无实权之态，乃是汉代的普遍情形。随着长官自署僚属和朝廷统一任免范围的一消一长，这种状况到南北朝已有相当改变，一种从内廷台阁不断发育起来的、佐贰官与长官“并肩事主”的关系，在尚书省日益成为全国行政总枢的过程中逐渐扩散开来。在此基础上，隋及唐初续加规范和调整后，各机构佐贰官的编制已统一规定为一或二员，级别与长官只差二阶，职能则明确为协助和参与长官之职，分管本机构内务和下属政务，更重要的是建立了其副署本机构上下行公文并与长官共同对此负责的制度。这些措施的结果，就是使中国历史上真正开始有了名副其实的“副长官”，其实质是使长官与副贰构成了一个共同节制本机构各种政务的群体。相较于仅由长官负责的状态，这种群体的节制付出了行政责任不够明晰的代价，却明显牵制了长官的专断独行，而其对于下级政务处理过程的裁处、干预和监督能力，也的确大为提高了。二是全面规范和强化各机构办公部门的建制和职能，使之成为日常行政监督的枢纽。秦汉以来各级长官自署僚属，其中往往有一个部门直接协助长官节制其下属、收发公文和协调众事，称为“门下”或“阁下”。但当时长官自署府僚的组织并不一致，门下的构成及其与其他府僚的关系亦无统一的法律规定，其中地位最重和充当本机构“纲纪”部门的，一般都是那些主管人事的僚属如东、西曹或功曹之类。严耕望《中国地方行政制度史·秦汉地方行政制度》第二章《郡府组织》专列“门下”之目，可参阅。严先生把“功曹”置于“纲纪”目中，强调了其重要性。但当时公府东、西曹既被归入“列曹”，功曹自亦不应例外。到南北朝，各机构重要僚属开始由朝廷统一任用，文牍制度日益发达，参见《通典》卷十四《选举二·历代制中》隋制部分的原注。门下或阁下的机能处于复杂的演变之中。而隋唐行政建制最为重要的成就之一，就是以尚书省为中心和范型，把朝廷到地方各机构的办公部门改造成了新的“纲纪”部门，并且将之串联成了一张完整和严密性前所未有的行政监督网络。唐代各办公机构大体皆由丞、长史等纲纪官加上主簿、录事或录事参军、录事等勾检官为主体，再下辖令史、府、史等胥吏而组成。就其功能来看，首先是管辖办公部门的纲纪官，如尚书省的左右丞，御史台的知杂御史，左、右丞纠察非违之事，参见《隋书》卷六十六《郎茂传》、卷五十六《杨汪传》；《旧唐书》卷七十《戴胄传》。知杂御史之况，参见《唐会要》卷六十二《御史台下》杂录。各州的长史、录事参军事等，职掌中都有协助长官处理本机构政务、纠察内部风纪和管理庶务之权，且其“纠察”也总要在其管辖的办公部门的配合下进行，故这些部门往往又被称为“纠曹”。更重要的是各办公部门皆以审核公文为基本职能，其中“受事发付”，即收受长官的指令及本机构收到的各种公文，注明规定处理的期限后，参见《唐律疏议》卷九《职制篇》稽缓制书条及《唐会要》卷五十八《尚书省诸司中》左右司郎中条载贞元五年正月左司郎中严涚奏事。交付本机构相应部门具体办理；“勾检稽失”，即检查本机构所有上下平行公文有无错失和延误（称“稽迟”），《唐律疏议》卷五《名例篇》同职犯公坐条疏议释“检勾之官同下从之罪”曰：“检者，谓发辰、检稽失，诸司录事之类；勾者，署名勾讫，录事参军之类。”检无稽、失者，署名勾讫；“省署抄目”，即审核和签署本机构各部门抄录留底以凭将来查核和依准的公文处理档案。就这样，以公文审核为中心，辅以随机的纠察，各机构的办公部门各为长官监督下属提供了有力保障，同时又在尚书省的牵头下连成了一体，虽然也要付出文牍主义盛行的代价，却把举国上下的行政监督提高到了新的水平。
正是通过这两大举措，隋唐时期不仅得以在长官权力明显削弱的前提下加强了行政上级对下级的监督，而且借助于多重牵制关系和严格的公文审核制度，把监督贯穿到了整套行政层级节制系统内部，渗透到了各项日常政务的具体处理过程之中。
第二节专职监察机构：御史台
日常行政监督有其局限。因为各行政上级通常只是为政务的正常展开来实施监督，对下级违法现象的纠治并不是其头号任务，放纵或姑息腐败的情况时会出现。同时，直接的上下级关系和各机构内部都容易形成盘根错节的关系，机构之间又有许多平行的牵制和协调关系，这些都是腐败易于滋长而一般行政监督相对乏力的地方。因此，汉代已出现了直属皇帝的专职监察机构——御史台。南北朝时期，其构成和职能与整套行政系统一起演化，自皇太子以下无所不纠，地位和作用越益突出，隋唐也承袭了这个传统。很明显，在并不存在独立于皇帝之外的法源或权力来源时，御史台作为专职监察机构直接代表皇帝纠察百官，在整套反腐体制中有着特殊重要的地位。
在组织结构上，隋文帝总结了南北朝时期的御史台制度，以御史大夫和治书侍御史为御史台正、副长官，下由朝廷统一选用侍御史、殿内侍御史和监察御史分掌各种监察事务，又设录事二人处理有关公文往来。这个基本的架构大体上一直维持到了唐末，至于治书侍御史又改称御史中丞、御史台改称“宪台”或“肃政台”等等，隋唐诸如此类的变化仍有不少。具体皆可参见邱永明《中国监察制度史》（华东师范大学出版社1992年版）第四章《隋唐五代时期封建监察制度的成熟》、胡沧泽《唐代御史制度研究》(台北文津出版社1993年版)第一章《唐代御史制度的变化》。但在隋炀帝至唐前期经历过两次值得注意的调整，反映了当时对专职监察机构认识的变化。
一是炀帝大业三年（607年）起，在御史台外另设了谒者台和司隶台。其中谒者台初定编制一百八十六员，掌各种出使事务兼含监察；司隶台编制六十员，是定期巡察京畿和各地非法的专职监察部门，其后虽又罢撤，却仍保留了司隶从事巡察各地的做法。这说明炀帝极欲强化朝廷对各地官员的监察，且对以往御史台的状态并不满意，故当时御史台官员的编制、品秩和职能亦有所调整。炀帝增置御史台主簿二员，规范了其办公部门，稍后又降御史大夫为四品，与谒者、司隶台长官同级，如此等等，俱见《隋书》卷二十八《百官志下》。二是唐初以来恢复和完善了御史台的基本架构，以后又用“御史里行”或“员外御史”等方式扩充御史构成和职能，但从当时各种使者频繁巡察各地的情况来判断，御史台对地方官的监察显然仍有问题。故武则天至玄宗都曾把御史台分为编制规模完全一致，又可互相纠察的左、右二台，左台主察京官和军旅，右台则按察各州，参见《唐会要》卷五十九《御史台上》及《旧唐书》卷四十四《职官志三》。其实还是想要通过扩充御史台编制来解决地方官的监察问题。到玄宗先天二年（713年）十月再罢右台，同时恢复诸道按察使建制，御史台组织结构直至唐末再未发生重大的变化。
在监察职能上，以上组织结构及其调整之况表明，隋唐御史台监察的重心，是放在朝廷各重大行政事务和京畿百官上的，同时兼顾对地方的监察。具体表现为御史大夫、中丞与三院御史据［唐］赵璘《因话录》（台北商务印书馆“景印文渊阁四库全书”本）卷五《徵部》御史台三院条，“三院”即以侍御史办公所在为台院，殿中御史所在为殿院，监察御史所在为察院。此“院”与太常博士所在的“礼院”、翰林学士所在的“学士院”义同，当时主要是办公屋所的称谓，寓有行政部门的内涵，并非法定的机构名称。，即侍御史、殿中侍御史和监察御史职能的相互补充和交叉。参见徐连达、马长林《唐代监察制度述论》，载《历史研究》1981年第5期。
据唐玄宗开元年间确定下来的御史台职员参见《唐六典》卷十三《御史台》、《新唐书》卷四十八《百官志三》。，御史大夫和御史中丞作为台内正、副长官，可独立弹奏或与御史连名纠劾违法高官或要官，又可与宰相或尚书省刑部会同处理各种重大案件。侍御史六员，可独立或与大夫、中丞联名弹纠高级或重要官僚的违法情事，又可会同中书舍人、给事中或刑部郎官和大理寺官审理大案要案，其中二人又连同殿中侍御史二人分掌“东、西推”及其他监察事务，又一人分司东都洛阳监察省寺派驻机构及河南府官员。唐以洛阳为东都，省台寺监皆有派驻机构，称“分司”；御史台亦然，称“东都留台”。殿中侍御史九员，监察各种殿庭侍从事务和仪制活动，其中二人与侍御史二人轮流监掌东、西推及仓库出纳事务，又二人分掌定期巡察京城内和城外雍、洛二州畿辅地区不法的“左、右巡”。监察御史十五员，其纠察范围在殿庭之外，广及铸钱、屯田、铨选、决狱等事，几乎无所不包，其中有特色的，包括按察州县不法、分察尚书六部、监督百官会议、出监军旅事务、监知馆驿邮传等项。以上职能总的可概括为弹劾百官、审理大案、巡视要务、分察庶政四大项。当然，御史台还要从事各项灵活多端的临时交办事务，并且履行大量的出使职能。可以看出，与日常行政监督的状态相类，作为专职监察机构，当时御史台的职能同样织成了一张严密的网络。
御史台的工作秩序最值得注意。隋文帝废止了北朝以来御史由御史台主选用之制，改由朝廷统一任免御史，台内开始形成了大夫到御史相对独立，且可互相弹纠的秩序。唐初特别是开元以来，御史常由皇帝亲择，同时强调了御史台内部的上下级关系，又为了保持御史台相对于宰相及其他行政机构的独立性，赋予了长官荐举御史人选之权，参见《旧唐书》卷九十九《张九龄传》附《张仲方传》、卷一百一十七《崔宁传》、卷一百六十八《独孤郁传》附《独孤朗传》、卷一百七十一《高元裕传》。在此基础上建立了一整套体现了专职监察机构特色的工作秩序。