1868年8月18日，德国天文学家简孙利用日全食观察太阳光谱，从分光镜中发现了太阳光谱中有一条与钠D线不在同一位置的黄线，简孙据此断定太阳上有一种地球上尚未发现的元素，命名为氦（拉丁文原意“太阳”）。此后，在1888年至1890年间，美国化学家赫列布莱得用硫酸处理一种铀矿，获得氦气，然而他却误认为是氮气。一直到1895年英国化学家雷塞姆确认，赫列布莱得认为的氮气是氦。
1785年卡文迪许做氧、氮化合实验时，最终残留了1％的气体（氩元素）
，当时未引起人们的注意。1892年英国物理学家雷莱怀疑空气中含有尚未发现的较重气体。1894年雷塞姆断定雷莱怀疑空气中存在的较重气体为一种新元素，定名为氩（拉丁文原意是“不活动”）。
氖、氪、氙三种元素的发现，是雷塞姆根据周期律设想它们还属于当时周期表尚未设立的一族，并预料在氦和氩之间有尚未发现的元素。1898年，他在几天之内相继发现了氖、氪、氙三种元素。
1900年，道纳发现氡。
化学家们发现了氦、氖、氪、氙、氡这些元素，依照惯例，需要进行化学性质的实验。可是，令人奇怪的是，当时，已知的几十种元素都能和其他物质发生化学反应，唯独这几种元素酸碱不吃，火烧不着，他们用尽浑身解数，也奈何不了它。因此，出于无可奈何，化学家们把它们几位一概都称为惰性元素。在其后的一段时间，人们又发现惰性元素具有饱和电子层结构，所以在一般情况下不显化学活动性，因此，它们的惰性又找到了理论根据。
1962年英国血统的加拿大化学家巴特利特，从六氟化铂化学物质急需电子这种特性上去思考，惰性元素的最外层电子是最多的，六氟化铂就有较大可能夺取惰性元素外层的电子。根据这一构思，他把六氟化铂与惰性元素氙进行化合实验，得到了第一个化合物——六氟化铂氙。巴特利特首战告捷，鼓励了许多科学家在新物质探索中进行勇敢探索，惰性元素的化合物一个又一个问世。
氟化物、氧化物、四氟氧化氙等相断问世。现在，连惰性元素的酸和盐，如氙酸、高氙酸钠也居然制造出来了。
人们为什么要破坏惰性元素的惰性，花很大力气制造惰性元素的化合物呢？因为惰性元素化合物的化学性质很活泼，能夺取卤素离子中的电子，因此它是一种强氧化剂或氟化剂。科学家们在火箭系统中把惰性元素的化合物作高能氧化剂，在有机合成上作催化剂。随着科学技术的发展，我们相信，将会有更多的惰性元素化合物出现，如果再叫它们为惰性元素已经不准确了。