超声加工的原理如图20所示。具有一定压力的工具高频振动，促使工作液中的悬浮磨粒以很大的速度和加速度不断地撞击抛磨工件表面，使其局部材料开裂粉碎；同时工作液受工具端面的超声振动作用而产生高频、交变液压冲击波和空化作用，从而钻入被加工材料的微细裂缝中，加剧了冲击破坏作用。鉴于其加工原理，愈是硬脆材料，受冲击破坏和产生微细裂缝的可能性愈大。超声加工有以下特点：（1）适于加工硬脆材料，特别是不导电的非金属材料（如陶瓷、玻璃、石英、宝石、金刚石等）。
（2）工具可用较软的材料，工具损耗小，容易加工成复杂的形状，不需要工具相对于工件作复杂的运动，机床结构简单。
（3）由于利用细小磨粒的高频作用，工件表面作用力小，不引起变形和烧伤，因此适于加工薄壁零件及工件的窄槽、小孔。表面粗糙度较好（Ra1～0.1微米），加工精度可达0.01～0.02毫米。