（1）工具的振幅与频率。提高振幅和频率可以提高加工速度，但过大的振幅和过高的频率会使工具和变幅杆产生很大的内应力，降低其使用寿命。通常振幅为0.01～0.1毫米，频率在16～25千赫兹之间。实际加工时，应调节到共振频率，以获得最大的振幅。
（2）进给压力。工具对工件所施加的压力过小，磨粒撞击作用弱，容易降低生产率；过大的压力又会使加工间隙过小而不利于磨粒循环更新，也会降低生产率。最佳的压力值与工具形状、材料、截面积及磨粒大小等相关，由实验决定。
（3）磨料硬度、种类、粒度。磨粒硬度高和颗粒大都有利于提高加工速度。一般用碳化硼、碳化硅加工硬质合金，用金刚石磨料加工金刚石和宝石材料；而一般的玻璃、石英、半导体材料等采用刚玉（Al2O3）作磨料。
（4）磨料悬浮液浓度。最常用的工作液是水，磨料与水的较佳配比（质量比）为0.8～1。加工速度随着浓度增加而加快；但浓度太高不利于磨粒的循环和撞击运动，影响加工速度。
（5）被加工材料。被加工材料愈脆，加工速度愈快。若以玻璃的可加工性为标准（100％），则石英为50％，硬质合金为2％～3％，淬火钢为1％，而锗、硅半导体单晶为200％～250％。