段玉裁注《说文》的成就极大。他不仅贯穿全书，详加注释，把《说文》在考订文字、声音、训诂三方面的真实价值阐发无遗，而且创造许多研究词义的方法，对汉语训诂学的发展开拓了新的内容和新的门径。尽管书中不免有偏执武断之处，可是其中精粹之处终不可没。其后钮树玉作《段氏说文注订》，徐承庆作《说文段注匡谬》，王绍兰作《说文解字段注订补》，徐灏作《说文段注笺》，虽各有发明，然成就不大，且有以不谬为谬者，转增烦扰。段书旧有经韵楼原刻本，后又有苏州书局翻刻本。1981年上海古籍出版社据原刻本影印行世。惟原刻本误字不少，苏州局本稍胜。学者可参考冯桂芬《段注说文考正》，冯将原书误处均已校出。
桂馥
桂馥(1736-1805年)，中国清代文字训诂学家。字冬卉，号未谷，山东曲阜人。生于乾隆元年。乾隆五十五年(1790年)举进士，被任命为云南永平县知县，嘉庆十年卒于官。桂馥博览群书，精于金石篆刻、文字训诂学，着有《说文解字义证》《札朴》《晚学集》《缪篆分韵》等书。《说文解字义证》共50卷，桂馥耗费40余年才写成，最为知名。此书目的在于证明《说文》训释，所以称为“义证”。他首先在每字下广引古书的文句词字的训解可以跟许说相发明的，或数义、或十数义，资料极为丰富。然后再分别解说许氏原文，并订正二徐（徐铉、徐锴）本传写的讹误，给研究《说文》的人提供极大的便利。
桂氏《札朴》共10卷，内分“温经”“览古”“匡谬”“金石文字”“乡里旧闻”“滇游续笔”6部分。其内容涉及面很广，有关经史、诗文、训诂、方言、民俗、风物等考释极为精到，而以考订经义训诂的居多。“乡里旧闻”所记曲阜方言也是很有价值的资料。
刘台拱
刘台拱(1751-1805年)，中国清代经学家、训诂学家。字端临，一字江岭，江苏宝应人。生于乾隆十六年，卒于嘉庆十年。21岁中试举人，会试礼部不第，留在京师，招生授徒。乾隆五十年(1785年)方任丹徒县训导。为学自天文律吕，至于声音文字莫不深究。对于汉宋诸儒之说，不主一宗，没有门户之见。乾隆中，四库馆开，与王念孙、朱筠、程晋芳、戴震、邵晋涵等名学者同游，论经考古，朝夕讨论。他沉默语少，但每发一论，诸人莫不叹服。他擅长于考订，以藏书、鉴赏金石为乐，聚书数万卷，金石古物亦多。所着书卷帙不多，但都是精粹之言。广雅书局刊本《刘氏遗书》有《论语骈枝》《经传小记》《国语补校》《荀子补注》《淮南子补校》《方言补校》《汉学拾遗》《文集》等共8卷；其解《论语》“子所雅言”之雅言，“文莫吾犹人也”之文莫。释“摄齐升堂”之摄齐，以及《文集》中的《转注假借说》，都是确切不易之论。至于所校各书，证据翔实，毫无臆测之病，这在清代学者之中也是不多见的。
阮元
中国清代经学家、训诂学家。字伯元，号云台，江苏仪征人。生于乾隆二十九年，卒于道光二十九年。乾隆五十四年(1789年)及进士第，由翰林院编修历官户礼兵工等部侍郎，山东浙江学政，浙江河南江西巡抚，两浙、两广、云贵总督，太子太保体仁阁大学士。平生以提倡汉学，刊刻古籍，奖掖后进为事。任江西巡抚时，校刻《十三经注疏》，每一经都撰有校勘记，罗列众本，刊校异同，读者称便。在广东任两广总督时，主持学海堂，刊刻《皇清经解》，把清人所着各种经书的新注和解释经传文字的佳作汇刻成编，有180余种，1400卷，续刻8卷，对清代学术的发展影响极大。他还主持编纂《经籍纂诂》，把唐以前古书中的文字训释都荟萃在一起，检查一字，许多义训都呈现在眼前，是研究字义的重要资料。他对如何研究字义很有创见，与王念孙、王引之父子的学术见解相近，他又是王引之的先生。着有《研经室集》58卷。
王引之
中国清代训诂学家。字伯申，号曼卿，江苏高邮人。祖王安国，吏部尚书。父王念孙，直隶永定河兵备道。父﹑祖皆以治名物训诂称。王引之乾隆六十年(1795年)中举人，嘉庆四年(1799年)为进士，由翰林院编修为礼部尚书，又改为工部尚书。继承并推广其父王念孙的音韵、文字、训诂之学，用训诂说经，用训诂校经，善于以声求义，治学精而博，与其父并称“高邮二王”。其学主要出于庭训。所着有《经义述闻》32卷，《经传释词》10卷。《经义述闻》所述，包括《易》《书》《诗》《周官》《仪礼》《大戴记》《小戴记》《春秋内外传》《公羊传》《尔雅》等书，不为凿空之谈，不为墨守之见。前人聚讼不解的，以合于经意者为断。既熟于汉学的门户，而又不囿于汉学的藩篱。善于以声求义，发前人所未发。字有假借，则求其本字，以正其解，所以成就最多。书末卷三十一、三十二所载“通说”53条，更是精粹所在。所着《经传释词》一书专为解释经传中的语词而作，尤其是对诸词特殊用法的训释，多具卓见，取得了超越前人的成就。书中对自九经三传以及周秦两汉之书凡有虚词的文句都一一搜讨诠释，“揆之本文而协，验之他卷而通”，为后来研究虚词的人开辟一条门径，贡献极大。王引之一生为学朴实无华，不尚虚文，其书札短篇，后人辑为《王文简公文集》刊行。
王筠
王筠(1784-1854年)，中国清代文字学家。字贯山，山东安邱人。生于乾隆四十九年，卒于咸丰四年。道光元年举人。平生精究《说文》之学。所着有《说文释例》20卷、《说文解字句读》30卷、《说文系传校录》30卷。《说文解字》段玉裁注早出，《说文》大例，段氏虽有论说，但不完备，所以王筠又着《说文释例》一书，补充段氏论说。其中同部重文、异部重文例，分别精细，确不可易。《说文解字句读》根据《说文》段注，桂馥《说文解字义证》和严可均《说文校议》三家书，斟酌损益，取长补短，疏解许说，而又加入自己的见解，力求简约易读，以便初学者诵习，所以名曰《句读》。三易其稿，10年才写成书。王筠治学态度平实，既崇敬段氏之精深，又推重桂氏之博洽，但意有不同，也必称心而出，不为模棱两可之说。《说文系传校录》是就杭州朱文藻所作《说文系传考异》而改作。根据徐铉本不同的刻本和徐锴《说文解字系传》不同的刻本互相比证，以定是非，可为读《系传》者参考。
朱骏声
朱骏声(1788-1858年)，中国清代文字训诂学家。字丰芑，号允倩，江苏吴县人。生于乾隆五十三年，卒于咸丰六年。博学广识，无书不读，精于经史，擅长诗赋辞章。嘉庆二十三年(1818年)举乡试，为安徽黟县训导。着述甚多，但刻版付梓的只有《说文通训定声》和《传经堂文集》10卷。
《说文通训定声》共18卷，是一部按古韵部改编《说文解字》的书。作者在《凡例》中说：“六书，形声之字十居其九。是编就许书五百四十部舍形取声，贯穿连缀，离之为一千一百三十七母，比之为十八部，以着文字声音之原，以正六朝四声之失。”这里说的“母”，指的是谐声字的声符。全书以谐声声符为纲，按音分别归属于古韵十八部。同从一个声符孳衍的字都连缀在一起，秩然有序。每字之下，先释《说文》本训，引群书古注为证，即所谓“说文”；次陈述字的引申义和因文字假借而产生的假借义，即所谓“通训”；最后举出上古韵文中的用韵来证明古音，凡同韵相押叫做“古韵”，邻韵相押叫做“转音”，阐明字音，即所谓“定声”。这三部分的主要部分是“通训”。“通训”部分，又有“转注”和“假借”两项。凡一字数训，在意义上有连属的称为“转注”，在意义上没有连属的称为“假借”。这跟许慎所说的转注和假借的定义已经全然不同，独成一家言。
《说文》中，字有不见于正篆，而见于说解中的；又具有偏旁，而没有正篆的；有只见于小徐（徐锴）本的；有别的书引《说文》的。本编都增补在内。其有见于《方言》《广雅》和子史传记中的也别列于每部之后，以备考索。全书共收字17240字，极为丰富。书前有“检字”，以便检查。总之，这部书不是专门为解释许说而作，乃是在《说文》本训之外，详举其他意义，以辨析何者为引申义，何者为假借义，对研究词义的发展和转变大有帮助。
《说文》始创于清道光十三年(1833年)，历时十数年，到道光二十八年才完成，二十九年在黟县学署雕版成书。现在有中华书局影印本。
陈澧
陈澧(1810-1882年)，中国清代音韵学家。字兰甫，号东塾，广东番禺（今广州）人。道光十二年(1832年)中举人，曾任河源县训导，作学海堂学长数十年，晚年菊坡精舍讲学。主要学术着作有《东塾读书记》《切韵考》《说文声表》《东塾集》等，内容涉及经学、小学、天文、地理、乐律、算术等；又善作诗文，有《忆江南馆词》。《切韵考》是研究隋唐声韵的重要着作。作者创造了一种新的研究方法，即反切系联法，用以考证《切韵》的声类、韵类。系联法有两条原则，一是正例，一是变例。所谓正例，即凡是反切用字同用、互用、递用的，必属同类。所谓变例，指实际同类而不能直接系联，由别的字可以推求同类。陈澧用这种方法通过《广韵》考定出《切韵》有40声类，311韵类。