公爵一词来源于拉丁文，原是罗马帝国后期人们对那些负责保卫帝国境内安全的高级军官的称呼，后来入侵的“蛮族”人借用这个词，把他们建立的国家中实际掌管大片领土的那些统治阶级上层人物称为公爵。不过，当时这个词并不含“爵位”的意思。到中世纪时，欧洲国家才逐渐把这个词当做高级贵族等级的名称来使用。
侯爵一词来源于古日耳曼语，最初是日耳曼人对镇守边境地区的军政要员的称呼，后来成为专指低于公爵而高于伯爵的贵族称号。这个词在法国、意大利从17世纪起就逐渐不用了，在西班牙几乎从来不用。
伯爵一词源于拉丁文，在罗马帝国晚期，帝国的臣民们用它来称呼皇帝的近臣。中世纪早期，欧洲一些王国的官员也称为伯爵。在法兰克，伯爵一度指的是某一城市的首领或某一地区的法官。后来，这个词变成了比公爵略低的贵族的称号。在佛兰德斯、巴塞罗那等地，伯爵和公爵的地位不相上下。英国人把伯爵叫EARL，原意是武士。从11世纪初丹麦国王卡努特统治英格兰时期起，一个EARL管好几个郡。1066年以后，EARL的辖地减少到只有一个郡那么大。
子爵一词来源于拉丁语。在法兰克加洛林王朝时期，人们把伯爵在某个地区的代理人称为子爵，或者称为副伯爵。后来，这个词便成为欧洲国家的一种贵族爵位，位列伯爵和男爵之间。
男爵一词来源于古日耳曼语，原指男人。从中世纪早期起，人们就把租种国王土地的人称为男爵。高地日耳曼人中，男爵一词在很长时期实际上指的是自耕农。后来，这个词才逐渐演变成贵族的称号。男爵，位列贵族的末位。