微波是由特殊器件产生的。产生微波的器件大致可分为真空管器件和半导体器件两大类。家用微波炉利用前一类。这类特殊的真空管又称为连续波磁控管，简称为磁控管。
磁控管内有一个圆筒形阴极，它可以是直热式的，也可以是旁热式的。当阴极被加热后发射大量电子，阴极外面包围着一个高导电率的无氧铜制成的阳极，用来接收阴极发射的电子。阳极上有若干个谐振腔。谐振腔是产生高频振荡的选频谐振回路，谐振频率主要由空腔的尺寸决定。为了安装方便和使用安全，一般阳极接地，阴极接负高压。
此外，还需要外加永久磁铁产生一个与阴极轴线相平行的磁场。当直流高压加于阴极和阳极之间时，阴极上逸出的电子就在电场力和磁场力的共同作用下沿螺旋状曲线飞向阳极，由于阳极上谐振腔的作用使得电能转换成微波能并通过天线耦合输出微波，再经波导传输到微波炉腔内加热食物。